| 入口圧力６ＭＰａタイプ。 リキッドガス用シリンダキャビネット、バルブマニフォールドボックス用に最適 |
| ○ 脱ガス・パージ効率性能を重視 |
| ○ １４．８ＭＰａの高圧パージに対応 |
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○ 樹脂部分、デッドスペースのボリュームを減少。 （当社ＥＲシリーズ比） |
| ○ 流量特性が向上。（当社ＥＲ２シリーズ比） |
| ○ 独自の外部メタルシール方法によりシール性能の経年変化防止 |
| ○ N2O，Cｌ2対応機種有り |
| 製品概要 | |
| ダイヤフラムのシール部に、メタル・シール構造を採用し、基本性能、クリーン・レベル等、超高純度半導体製造プロセスに最適な圧力調整器です。 | 配管ライン等の低圧標準流量用として、安定した圧力制御に適した製品です。また、塩素（Cl2）ガスおよび亜酸化窒素（N2O）ガスには、専用の特殊弁シートを使用しております。 |
| 部品洗浄の最終工程から、組立、検査、最終包装まで、最新設備が導入されたクラス１0のクリーン・トンネルで製作されています。 | |
| 特 長 | |
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超高純度半導体製造プロセス用配管ライン等の低圧標準流量タイプ圧力調整器として、安定した圧力制御が可能な製品です。 |
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標準継手サイズは1/4"フェイス・シール継手オスで、オプションとして各種継手サイズ・形状の製作が可能です。また、溶接施工は、突合自動溶接を標準としております。 |
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ダイヤフラムのシール部は、メタル・シール構造を採用しており、樹脂製ガスケット類は使用しておりません。 |
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“フリー・ポペット”構造を標準とし、オプションとして“タイド・ダイヤフラム”構造の選択が可能です。 |
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接ガス部材質は、SUS316Lを標準とし、オプションとして、ハステロイ®C-22仕様の選択が可能です。また、ダイヤフラム材質は、ハステロイ®C-22を標準としています（但し、一酸化炭素（CO）ガス用を除く）。オプションとして、ハステロイ®C-22製圧力計の選択も可能です。 |
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接ガス部表面仕上げは、0.80μm Ra（3.2μm Rmax）を標準仕様（グレード“B”）とし、オプションとして、0.18μm Ra（0.7μm Rmax）の研磨仕様（グレード“A”）の選択が可能です。 |
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角形圧力調整スプリングの採用により、調整圧力性能が向上しております。 |
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弁シート材として、塩素（Cl2）ガスには、特殊フッ素樹脂、また、亜酸化窒素（N2O）ガスには、ポリイミド樹脂を使用しております。 |
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部品洗浄の最終工程から、組立、検査、最終包装まで、クラス10のクリーン・トンネルで製作されております。 |
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部品洗浄は、クラス100のクリーン・ルーム内で、超音波脱脂洗浄後、全自動コンベア式超純水洗浄装置により、超音波洗浄、シャワー洗浄と温風乾燥を1ステップで実施後、真空乾燥炉でベーキング処理を行います。 |
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製品は、組立後、全数、性能検査とHeリーク・テストを実施し、ロットNo.と製造No.により、トレーサビリティが確立されております。 |
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最終包装は、真空脱気、N2ガス封入の2重パックで出荷されます。 |
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特定高圧ガスに使用される、高圧ガス認定品の製作が可能です。 |
| 構造図 | |
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| ［備 考］ | |
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本製品には、フィルタが内蔵されておりません。 |
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圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。 |
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“タイド・ダイヤフラム”構造の場合、出口圧力側を加圧状態で、圧力調整ハンドルをDECREASE（SHUT）方向へ戻す操作は、行わないでください。 |
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本製品の高圧パージを、6MPaを超える圧力で行う場合、入口圧力の変化に対する調整圧力の変化（元圧変動）に十分ご注意して、作業を行ってください。 |
| 仕 様 |
| 入口圧力 | 6.0 MPa以下 |
| 調整圧力 | 0〜0.99 MPa |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当たり 調整圧力変化量0.0008 MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2 MPa（入口側） |
| 破壊圧力 | 59.2 MPa |
| 使用温度 | −10℃ 〜 40℃ |
| 外部リーク | 1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法） |
| 内部容積 | 4.67cm3（継手部を除く） |
| 質 量 | 約0.96 kg |
| 取付方法 | 前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる 取り付け（外観図参照) |
| ［備 考］ | ||
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調整圧力は、圧力計の最大目盛値の60％以内に設定されております。 | |
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1MPa = 10.2 kgf/cm2 = 144.84 PSI | |
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1MPa = 7504.36 mmHg = 295.4 inHg | |
| 材 質 |
| L25SS | L25SH | L25SS-Cl2 | L25SS-N2O | L25SS-CO | |
| 接ガス部 | |||||
| 本体 | SUS316L | ||||
| 調整弁棒・弁座 | SUS316L | ハステロイ®C-22 | SUS316L | ||
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | SUS316L | |||
| 弁シート | PCTFE （ダイフロン®） |
特殊フッ素 樹脂 |
ポリイミド 樹脂 |
PCTFE （ダイフロン®） |
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| 緩衝スプリング | SUS316 | Co-Ni合金 | SUS316 | ||
| 圧力計継手部シール用 ガスケット |
Ni | SUS316 | |||
| 非接ガス部 | |||||
| ボンネッ（A） | SUS316 | ||||
| ボンネッ（B） | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||||
| キャップ | SUS304 | ||||
| 圧力調整 ハンドル |
ABS樹脂 | ||||
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Oリング |
VITON® | ||||
| ［備 考］ | |
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タイプ：L25SS-Cl2は塩素（Cl2）ガス専用、タイプ：L25SS-N2Oは亜酸化窒素（N2O）ガス専用、また、タイプ：L25SS-COは一酸化炭素（CO）ガス専用に、材質が選定されています。他のガスには、ご使用しないようにお願いいたします。 |
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タイプ：L25SS-Cl2の場合、ハステロイ®C-22仕様（接ガス部材質記号：SH）の選択も可能です。 |
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ハステロイ®C-22製圧力計は、オプションでの選択となります。 |
| 流量曲線図 | |
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| ［備 考］ | |
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各流量曲線データは、常温での標準値です。 |
| クリーン・レベル |
| 標準仕様（グレード”B”） | 研磨仕様（グレード”A”） | |
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接ガス部表面 |
0.80μm Ra以下 （3.2μm Rmax以下） |
0.18μm Ra以下 （0.7μm Rmax以下） |
| 標準面間寸法 |
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種 類 |
寸 法 |
| 1/4"フェイス・シール継手面間寸法（オス、メス同一） | 約94 mm |
| 1/4"チューブ接続等各種継手の製作 | オプション |
| ［備 考］ | |
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本体圧力計接続継手ポートのサイズおよび形状は、1/4"フェイス・シール継手オスが標準です。 |
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入口・出口継手の、種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、各種選択可能です。 |
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VCR®オス面間寸法82mm、VCR®メス面間寸法99mmをご指定の場合は、溶接施工は差込溶接となります。 |
| 外観図 | |
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| [備 考] | |
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単位：mm |
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フェイス・シール継手面間寸法は、オス、メス同一です。 |
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VCR®以外の各種継手の面間寸法は、上図と異なる場合があります。 |
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各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。 |
| ダウンロード | |
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カタログ(ＰＤＦ形式）のダウンロードはこちらを右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 |
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品番コード 御発注時の品番コードは、PDFカタログをダウンロードのうえ、ご確認願います。 |
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外観図のＤＸＦダウンロードについて こちらを右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 |