角形圧力調整スプリングの採用により、調整圧力性能が向上しております。
| 製品概要 | |
| 接ガス部品に特殊洗浄を実施し、禁油禁水製造工程のもとに製作された、基本性能、クリーン・レベル等、半導体製造プロセスに最適な汎用性の高い圧力調整器です。 |
部品洗浄の最終工程から、組立、検査、最終包装まで、最新設備が導入されたクラス100のクリーン・ルーム内、クラス10のクリーン・ベンチで製作されています。 |
| 配管ライン等の低圧標準流量用として、安定した圧力制御に適した製品です。また、塩素（Cl2）ガスおよび亜酸化窒素（N2O）ガスには、専用の特殊弁シートを使用しております。 | |
| 特 長 | |
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半導体製造プロセス用配管ライン等の低圧標準流量タイプ圧力調整器として、安定した圧力制御が可能な製品です。 |
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標準継手サイズは1/4"スウェジロック・タイプ継手または1/4"フェイス・シール継手オスで、オプションとして各種継手サイズ・形状の製作が可能です。また、溶接施工は、差込（ソケット）タイプTIG溶接を標準としております。 |
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“フリー・ポペット”構造を標準とし、オプションとして“タイド・ダイヤフラム”構造の選択が可能です。 |
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接ガス部材質は、SUS316Lを標準とし、オプションとして、ハステロイ®C-22仕様の選択が可能です（但し、一酸化炭素（CO）ガス用を除く）。オプションとして、ハステロイ®C-22製圧力計の選択も可能です。 |
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接ガス部表面仕上げは、0.80μm Raを標準仕様（グレード“B・C”）とし、オプションとして、0.18μm Raの研磨仕様（グレード“A”）の選択が可能です。 角形圧力調整スプリングの採用により、調整圧力性能が向上しております。 |
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弁シート材として、塩素（Cl2）ガスには、特殊フッ素樹脂、また、亜酸化窒素（N2O）ガスには、ポリイミド樹脂を使用しております。 |
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部品洗浄の最終工程から、組立、検査、最終包装まで、クラス10のクリーン・ベンチ内で製作されております。 |
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部品洗浄は、クラス100のクリーン・ルーム内で、超音波脱脂洗浄等の特殊洗浄を行います。 |
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製品は、組立後、全数、性能検査とHeリーク・テストを実施し、ロット№と製造№により、トレーサビリティが確立されております。（但し、グレート"C"はN2ガスによる24時間封入テストを実施し、Heリーク・テストは適用外）。 |
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最終包装は、真空脱気、N2ガス封入の2重パックで出荷されます。（但し、グレート"C"は除く）。 |
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高圧ガス設備に使用される、高圧ガス認定品の製作が可能です。 |
| 構造図 |
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| 仕 様 |
| 入口圧力 | 6.0 MPa以下 |
| 調整圧力 | 0～0.2, 0～0.4, 0～0.6, 0～0.99 MPa |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当たり調整圧力変化量0.00178 MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2 MPa（入口側） |
| 破壊圧力 | 59.2 MPa |
| 使用温度 | －10℃ ～ 40℃ |
| 外部リーク | ネジ込み仕様（P）：1×10-9Pa・m³/sec・He（真空法） 溶接仕様（W）：1×10-11Pa・m³/sec・He（真空法） （但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト） |
| 内部容積 | 4.67cm³（継手部を除く） |
| 質 量 | 約0.96 kg |
| 取付方法 | 前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる取り付け （外観図参照) |
| ［備 考］ | ||
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調整圧力は、圧力計の最大目盛値の60％以内に設定されております。 | |
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1MPa = 10.2 kgf/cm² = 144.84 PSI | |
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1MPa = 7504.36 mmHg = 295.4 inHg | |
| 材 質 |
| R25SS | R25SH | R25SS-Cl2 | R25SS-N2O | R25SS-CO | |
| 接ガス部 | |||||
| 本体 | SUS316L | ||||
| 調整弁棒 | SUS316L | ハステロイ® C-22 |
SUS316L | ||
| ダイヤフラム | SUS316L | ハステロイ® C-22 |
SUS316L | ||
| 弁シート | PCTFE （ダイフロン®） |
特殊 |
ポリイミド樹脂 |
PCTFE |
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| 緩衝スプリング | SUS316 | ||||
| パッキン | PCTFE（ダイフロン®）およびPTFE（テフロン®） | ||||
| 圧力計継手部 シール用 ガスケット |
Ni | SUS316 | |||
| 非接ガス部 | |||||
| ボンネット | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||||
| キャップ | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||||
| 圧力調整 ハンドル |
ABS樹脂 | ||||
| Oリング | VITON® | ||||
| ［備 考］ | ||
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タイプ：R25SS-Cl2は塩素（Cl2）ガス専用、タイプ：R25SS-N2Oは亜酸化窒素（N2O）ガス専用、また、タイプ：R25SS-COは一酸化炭素（CO）ガス専用に、材質が選定されています。他のガスには、ご使用されないようにお願いいたします。 | |
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タイプ：R25SS-Cl2の場合、ハステロイ® C-22仕様（接ガス部材質記号：SH）の選択も可能です。 | |
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ハステロイ®C-22製圧力計は、オプションでの選択となります。 | |
| 流量曲線図 | |
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| ［備 考］ | |
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各流量曲線データは、常温での標準値です。 |
| クリーン・レベル |
| 標準仕様（グレード”B”） | 研磨仕様（グレード”A”） | |
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接ガス部表面 |
0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
| 標準面間寸法 |
| 1/4"スウェジロック・タイプ継手面間寸法 | 約111 mm |
| 1/4"フェイス・シール継手面間寸法（オス） | 約82 mm |
| 1/4"フェイス・シール継手面間寸法（メス） | 約99 mm |
| 1/4"チューブ接続等各種継手の製作 | オプション |
| ［備 考］ | |
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圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4"NPTメス・ネジまたは1/4"フェイス・シール継手オスが標準です。 |
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入口・出口継手の、種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、各種選択可能です。 |
| 外観図 |
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| ダウンロード | |
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カタログ(ＰＤＦ形式） こちらを右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。品番コード 御発注時の品番コードは、PDFカタログをダウンロードのうえ、ご確認願います。 |
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外観図(ＤＸＦ形式) こちらを右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 |