| 製品概要 | |
| Crown RVG-10およびVG-1シリーズは、流体特性を極限まで追求し、最適設計された真空発生器で、エジェクタ方式としては、極めて高い真空度（－88kPaG以下）を実現しました。 | 半導体製造プロセス用超精密圧力調整器をはじめとした、各種ガス・コントロール機器は、ISO9001品質管理システムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売されています。 |
| 半導体製造プロセスで使用されるシリンダ・キャビネット等のベント・ラインに最適な製品です。 | |
| 特 長 | |
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エジェクタ方式 シンプルな構造で、トラブルフリーを考慮した設計となっています。 また、駆動N2ガスにより、排出ガスが希釈されるため、安全性にも考慮しています。 |
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高真空度（性能曲線図Ａ-①参照） 流体特性を極限まで追求するとともに、微細孔の精密加工技術により、エジェクタ方式の真空発生器としては、極めて高い真空度（－88kPaG以下）を実現しました。シリンダ・キャビネット等のベント・ライン用として最適な製品です。 |
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減圧機構内蔵（性能曲線図B・図C・図D参照） RVG-10型は、減圧機構が内蔵されており、高圧の排気ガスは、排気前に減圧機構により0.5MPa以下に減圧され、N2 駆動ガスのラインヘ瞬間的に高圧が入り込むのを防止します。但し、この減圧機構は、弁部がメタル・シールとなっているため、 通常のレギュレータの様に、配管後、減圧機構入口側から耐圧テストをされた場合、スロー・リークが発生しますので、このような作業は、 絶対に行わないようにお願いいたします。 |
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禁油・禁水 禁油禁水構造で、摺動部がありません。十分耐久性を考慮した製品設計がされています。 また、部品洗浄は、超音波脱脂洗浄等の特殊洗浄を行います。 |
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耐圧設計 減圧機構の入口部は、22.2MPaの圧力に耐える設計となっています。 |
| 性能曲線 |
| 図A. バキューム・ジェネレーター特性 ①＝到達真空度 ②＝吸引力 ③＝N<font size=-2>2</font>消費量 （注）下図は、VG-1モデルにも共通です。  図B. 排気特性図（測定値） ④＝排気流量 ⑤＝減圧後の排気圧力  図C. RVG-10の排出ガス圧力  図D. 従来品の排出ガス圧力  |
| ガスフロー図 |
 排出ガス P1＝Max.14.8MPa P2≦0.50MPa 駆動ガスN2 P3≦0.99MPa （注）排気側に抵抗を与えると、到達真空度に影響します。 |
| 仕様および材質 |
| タイプ | RVG-10（減圧機構内蔵） | VG-1（減圧機構なし） |
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仕様 |
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| 排出ガス圧力 | MAX.14.8 MPa | MAX. 0.60 MPa |
| 駆動用N2圧力 | MAX.0.99 MPa | MAX. 0.99 MPa |
| 外部リーク | 1X10-9Pa・m3/sec・He（真空法） | |
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材質（接ガス部） |
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| 本体 | SUS316L | SUS316L |
| 弁部（ボール） | SUS316 | ――――― |
| 緩衝スプリング | SUS316 | ――――― |
| 継手 | SUS316 | SUS316 |
| 認 証 | |
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ISO 9001品質システム登録事業所 （登録番号：96QR・032（1996年）） |
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ISO 14001環境マネジメントシステム登録事業所 （登録番号：00ER・073（2000年）） |
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経済産業省高圧ガス設備試験製造認定事業所 （認定番号：MAB-472-2、MAB-472-N-II、MAB-472-B） |
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厚生労働省医療用具製造業許可工場 （許可番号：（東用）No.2755） |
| 外観図 |
シリンダー・キャビネット用真空発生器 RVG-10 (減圧機構内蔵) |
シリンダー・キャビネット用真空発生器 VG-1 (減圧機構なし) |
| ［備 考］ | |
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本製品は、日本エア・リキード株式会社殿との共同開発品です（特許出願中）。 |
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RVG-10型は、配管後、減圧機構入口側からの耐圧テストは絶対に行わないようにお願いいたします。 |
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VG-1型には、減圧機構が内蔵されていません。 |
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本カタログに記載されている圧力は、特に指示がない場合、すべてゲージ圧力で表示されております。 |
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製品を安全にお使いいただくため、ご使用の前に必ず｢取扱説明書｣をお読みください。 |
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ガス・コントロール機器を選定する際は、安全かつトラブルが発生することなく各機器が機能するように、ガス・システム設計者およびユーザ様の責任において、各機器の機能、材質の適合性、使用条件等を考慮し、ご仕様に合った製品を選定し、適切な取り付け、操作およびメインテナンスを行ってください。 |
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Crown製品と他社製品とを、決して混用したり、互換したりしないように、お願いいたします。 |
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製品の仕様は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。ご注文の際は、弊社または弊社代理店へ、仕様のご確認をお願いいたします。 |
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ご不明な点および本カタログに記載されていない特殊仕様のご要求につきましては、弊社または弊社代理店へお問い合わせください。 |
| ダウンロード | |
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カタログ(ＰＤＦ形式） こちらを右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 御発注時の品番コードは、PDFカタログをダウンロードのうえ、ご確認願います。 |
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外観図(ＤＸＦ形式) RVG-10を右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 VG-1を右クリックして｢対象をファイルに保存｣で行えます。 |