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半導体製造プロセス用圧力調整器

Lシリーズ

高純度半導体製造プロセス用

  • 主要部材質
  • 標準流量
  • 入口圧力
  • 調整圧力
  • 使用圧力
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L20シリーズ RoHS指令対応製品

高圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 60 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L25シリーズ RoHS指令対応製品

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器newnew

L21シリーズ RoHS指令対応製品

高圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L26シリーズ

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 0.99 MPa 2 MPa 6 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L35シリーズ RoHS指令対応製品

低圧中流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 100 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.9 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L61シリーズ

高圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 300 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.8 MPa
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高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L62シリーズ

ニードル式高圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 300 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L81シリーズ RoHS指令対応製品

2段式標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.6 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L88シリーズ

2段式標準流量タイプ

  • SUS316L
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L96シリーズ

絶対圧タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 5 NL/min
  • 0.99 MPa
  • -0.1〜0〜0.2 MPa
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高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

LH1シリーズ

低圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 500 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.8 MPa
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高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

LH2シリーズ

低圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 500 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

LM1シリーズ RoHS指令対応製品

低圧大流量タイプ

  • SUS316L
  • 700 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器newnew

LM2シリーズ RoHS指令対応製品

ニードル式低圧大流量タイプ

  • SUS316L
  • 700 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

LL1シリーズ

低圧大流量タイプ

  • SUS316L
  • 1000 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

LL2シリーズ RoHS指令対応製品

低圧大流量タイプ

  • SUS316L
  • 1500 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa
製品写真

高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L18シリーズ RoHS指令対応製品

小型標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.6 MPa
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高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

L18Hシリーズ RoHS指令対応製品

小型中流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 30 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.7 MPa
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高純度半導体製造プロセス用 スプリングレス精密圧力調整器

LS2シリーズ

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.6 MPa

Rシリーズ

半導体製造プロセス用

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半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R20シリーズ

高圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 60 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 1.2 MPa
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半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R25シリーズ

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 6 MPa
  • 1.2 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R26シリーズ

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 2MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R35シリーズ RoHS指令対応製品

低圧中流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 100 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R36シリーズ

低圧中流量タイプ

  • SUS316L,SUS316
  • 100 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R61シリーズ

高圧大流量タイプ

  • SUS316L
  • 300 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R71シリーズ

出口高圧タイプ

  • SUS316L
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 12 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

R81シリーズ RoHS指令対応製品

2段式標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 25 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.6 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

RH1シリーズ

低圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 500 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

RH2シリーズ

低圧大流量タイプ

  • SUS316L,SUS316
  • 500 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.99 MPa
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半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

RLDシリーズ

パイロット式大流量タイプ

  • SUS316
  • 6000 NL/min
  • 2 MPa
  • 0.8 MPa

Uシリーズ

超高純度半導体製造プロセス用

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超高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

U20シリーズ

高圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 60 NL/min
  • 14.8 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

超高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

U25シリーズ

低圧標準流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 20 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
製品写真

超高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

U31シリーズ

低圧中流量タイプ

  • SUS316L,SUS+ハステロイ®
  • 100 NL/min
  • 6 MPa
  • 0.99 MPa
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超高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

UDMシリーズ

電子制御小型標準流量タイプ

  • SUS316L
  • 50 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.6 MPa
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超高純度半導体製造プロセス用 精密圧力調整器

UDLシリーズ

電子制御小型大流量タイプ

  • SUS316L
  • 150 NL/min
  • 0.99 MPa
  • 0.6 MPa
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シリンダー・キャビネット用真空発生器

RVG-10・VG-1シリーズ

セイフティ・バキューム・ジェネレーター

  • SUS316L
製品写真

φ50圧力計

U5Aシリーズ・U5Dシリーズ

  • SUS316L
U5A-P1,U5D-P1製品詳細
製品写真

φ30圧力計

U3Dシリーズ

  • SUS316L