半導体製造プロセス用圧力調整器

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ２０シリーズ RoHS指令対応製品

高圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 60 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.99 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ２５シリーズ RoHS指令対応製品

低圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 6 MPa
• 0.99 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ２６シリーズ

低圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 2 MPa
• 0.99 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ３５シリーズ RoHS指令対応製品

低圧中流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 100 NL/min
• 6 MPa
• 0.9 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ６１シリーズ

高圧大流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 300 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ６２シリーズ

ニードル式高圧大流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 300 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ８１シリーズ RoHS指令対応製品

2段式標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 25 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.6 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ８８シリーズ

2段式標準流量タイプ

• SUS316L
• 25 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.99 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ９６シリーズ

絶対圧タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 5 NL/min
• 0.99 MPa
• -0.1〜0〜0.2 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＬＨ１シリーズ

低圧大流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 500 NL/min
• 6 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＬＨ２シリーズ

低圧大流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 500 NL/min
• 6 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＬＭ１シリーズ RoHS指令対応製品

低圧大流量タイプ

• SUS316L
• 700 NL/min
• 2 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＬＬ１シリーズ

低圧大流量タイプ

• SUS316L
• 1000 NL/min
• 2 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＬＬ２シリーズ RoHS指令対応製品

低圧大流量タイプ

• SUS316L
• 1500 NL/min
• 2 MPa
• 0.8 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ１８シリーズ RoHS指令対応製品

小型標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 0.99 MPa
• 0.6 MPa

高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｌ１８Ｈシリーズ RoHS指令対応製品

小型中流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 30 NL/min
• 0.99 MPa
• 0.7 MPa

高純度半導体製造プロセス用　スプリングレス精密圧力調整器

ＬＳ２シリーズ

低圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 2 MPa
• 0.6 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ２０シリーズ

高圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 60 NL/min
• 14.8 MPa
• 1.2 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ２５シリーズ

低圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 6 MPa
• 1.2 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ３５シリーズ RoHS指令対応製品

低圧中流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 100 NL/min
• 6 MPa
• 0.99 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ６１シリーズ

高圧大流量タイプ

• SUS316L
• 300 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.99 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ７１シリーズ

出口高圧タイプ

• SUS316L
• 25 NL/min
• 14.8 MPa
• 12 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｒ８１シリーズ RoHS指令対応製品

2段式標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 25 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.6 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＲＨ１シリーズ

低圧大流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 500 NL/min
• 6 MPa
• 0.99 MPa

半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＲＬＤシリーズ

パイロット式大流量タイプ

• SUS316
• 6000 NL/min
• 2 MPa
• 0.8 MPa

超高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｕ２０シリーズ

高圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 60 NL/min
• 14.8 MPa
• 0.99 MPa

超高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｕ２５シリーズ

低圧標準流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 20 NL/min
• 6 MPa
• 0.99 MPa

超高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

Ｕ３１シリーズ

低圧中流量タイプ

• SUS316L,SUS＋ハステロイ®
• 100 NL/min
• 6 MPa
• 0.99 MPa

超高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＵＤＭシリーズ

電子制御小型標準流量タイプ

• SUS316L
• 50 NL/min
• 0.99 MPa
• 0.6 MPa

超高純度半導体製造プロセス用　精密圧力調整器

ＵＤＬシリーズ

電子制御小型大流量タイプ

• SUS316L
• 150 NL/min
• 0.99 MPa
• 0.6 MPa

シリンダー・キャビネット用真空発生器

ＲＶＧ－１０・ＶＧ－１シリーズ

セイフティ・バキューム・ジェネレーター

• SUS316L

φ50圧力計

Ｕ５Ａシリーズ・Ｕ５Ｄシリーズ

• SUS316L

φ30圧力計

Ｕ３Ｄシリーズ

• SUS316L