L18Hシリーズ（小型中流量タイプ）
Lシリーズ集積用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L18Hシリーズは、1.5インチSEMI規格に準拠したブロック型圧力調整器で装置メーカーの集積化ガス供給システム向けに設計された製品です。又、L18製品の後継製品として流量特性性能を大きく向上しております。
- 本体溶接継手仕様はバルブボックスの省スペース用にも最適です。
- 前製品L18シリーズより約2倍の流量を放出（面間寸法は同等）
- ダイヤフラム外部シールはメタルシールを採用。
仕様
| 適用ガス | 高純度ガス |
| 入口圧力 | 0.99MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.0.7MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.7MPa） |
| 耐圧圧力 | 1.5MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.1 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） |
| 質量 | 約0.36kg |
| 取付方法 | 背面ビスによる取り付け |
継手溶接仕様外観図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
■単位：mm
■フェイス・シール継手面間寸法は、オス、メス同一です。
■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
集積化ガスユニット仕様 外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L18HSS | L18HSH | L18HSV | L18HVH | L18HSH-CL2 |
|---|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||||
| 本体 | SUS316 L | SUS316真空二重溶解材 | SUS316 L | ||
| ダイヤフラム | ハステロイ® C-22 | ||||
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | フッ素樹脂 | |||
| 調整弁棒 | SUS316 L | ハステロイ® C-22 |
SUS316 L | ハステロイ® C-22 | |
| 圧力計部継手 シール用ガスケット |
Ni | ||||
| 非接ガス部 | |||||
| 調整器カバー | 真鍮（Crメッキ） | ||||
| 圧力調整ハンドル | 真鍮（Crメッキ） | ||||
| Ｏリング | NBR | ||||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | 研磨仕様（グレード“S”） | |
|---|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.8μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 | 0.08μm Ra以下 |
標準面間寸法
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一） ………………………………… 約74mm
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。