半導体製造用圧力
制御機器

半導体製造用圧力制御機器について

e-flow高純度ガス用圧力調整器は、半導体工場で使用されることを想定し、高純度化を高め、外部リークパーティクル、デットスペースを極力押さえた製品です。
半導体工場向けパシリティー用のシリンダーキャビト、フックアップ、バルブボックや装置メーカー用の集積ユニット向けで多種多様なガス用にご使用頂いております。
気密性に優れた製品ですので特殊高圧ガスや毒性・腐食性・可燃性ガスには最適です。

高純度ガス用圧力調整器のラインナップ

Lシリーズ:接合部突合せ溶接仕様、外部シールメタル構造の製品です。
Rシリーズ;本体ねじ込み(NPT)仕様、外部ソフトシール構造の製品です。溶接仕様は差込溶接になります。
Dシリーズ:パイロット構造の電子制御付圧力調整器で、LとRシリーズと圧力制御部を組み合わせた製品です。
Uシリーズ;特殊仕様で本体削出し、突合せ溶接仕様、外部シールはメタルシール構造です。

タイド方式とフリー方式の調整弁について

当社標準仕様はフリーポペット方式ですが、海外メーカーはタイドダイヤフラム式構造を採用しているケースが多くあります。構造の違いにより一長一短がありますが、高純度対応ではデットスペースフリーの考えと気密検査時のハンドルフリーでの操作によりフリー式を標準としております。