L12シリーズ（集積タイプ）
Lシリーズ集積用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L12シリーズは、1.125インチSEMI規格に準拠して設計された圧力調整器です。
- 集積化ガス供給システム用1.125インチ、1.5インチのＷシール、Ｃシールに対応。
- ハイフローとバキューム仕様やフェイス・シール継手タイプもラインナップ。
仕様
| 入口圧力 | Max.0.99MPa |
| 調整圧力（L12・L12H） | Max.0.7MPa （レンジ仕様0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.7MPa） |
| 調整圧力（L12V） | レンジ仕様－0.08～0.1MPa、－0.08～0.2MPa |
| 耐圧圧力 | 1.5MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.1 (L12) , 0.15 (L12H) |
| 使用温度 | －40～＋70°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa・m3/sec・He（真空法） |
| 質量 | 約270g（1.125”SEMI仕様） |
外観図
［備考］ ■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
流量曲線図
| シリーズ | L12 | L12H | L12V | |
|---|---|---|---|---|
| 最大入口圧力 | 0.99MPa | |||
| 調整圧力範囲 | － | 0.08～0.1MPa | ||
| －0.08～0.2MPa | ||||
| 0～0.2MPa | － | － | ||
| 0～0.4、0～0.7 | － | |||
| 標準放出流量 | 20L/min | 50L/min | 5L/min | |
L12
L12H
L12V
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L12SS | L12SH | L12SV | L12VH |
|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | ||||
| 本体 | SUS316L | SUS316L 二重溶解材 | ||
| 調整弁棒 | SUS316L | ハステロイ® C-22 |
SUS316L | ハステロイ® C-22 |
| 弁シート | PFA | |||
| ダイヤフラム | ハステロイ® C-22 | |||
| 緩衝スプリング | SUS316 | |||
| 非接ガス部 | ||||
| 調整器カバー | SUS | |||
| 圧力調整ハンドル | AL | |||
| Ｏリング | VMQ（シリコン） | |||
クリーン・レベル
| 研摩仕様（グレード“S”） | |
|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.08μmRa以下 |
標準面間寸法
1/4”、1/4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一）……約74mm
品番コード
