L12シリーズ(集積タイプ)

Lシリーズ集積用

RoHS指令対応製品

L12シリーズ(集積タイプ)

機能
低圧力 1MPa以下
溶接仕様 メタルガスケット継手
集積仕様
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
7種特殊高圧ガス
腐食性ガス 毒性ガス
以外のガス
標準流量
~60NL/min
 

特長

  • 本器L12シリーズは、1.125インチSEMI規格に準拠して設計された圧力調整器です。
  •  集積化ガス供給システム用1.125インチ、1.5インチのWシール、Cシールに対応。
  •  ハイフローとバキューム仕様やフェイス・シール継手タイプもラインナップ。

仕様

入口圧力 Max.0.99MPa
調整圧力(L12・L12H) Max.0.7MPa
(レンジ仕様0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa)
調整圧力(L12V) レンジ仕様-0.08~0.1MPa、-0.08~0.2MPa
耐圧圧力 1.5MPa(入口側)
Cv値 0.1
使用温度 -10~+70°C
外部リーク 1×10-11Pa・m3/sec・He(真空法)
質量 約270g(1.125”SEMI仕様)

外観図

[備考] ■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

流量曲線図

シリーズ L12 L12H L12V
最大入口圧力 0.99MPa
調整圧力範囲 0.08~0.1MPa
-0.08~0.2MPa
0~0.2MPa
0~0.4、0~0.7
標準放出流量 20L/min 50L/min 5L/min
L12

L12H

L12V

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ L12SS L12SH L12SV L12VH
接ガス部
本体 SUS316L SUS316L 二重溶解材
調整弁棒 SUS316L ハステロイ®
C-22
SUS316L ハステロイ®
C-22
弁シート PFA
ダイヤフラム ハステロイ® C-22
緩衝スプリング SUS316
非接ガス部
調整器カバー SUS
圧力調整ハンドル AL
Oリング VMQ(シリコン)

クリーン・レベル

  研摩仕様(グレード“S”)
接ガス部表面処理 0.08μmRa以下

標準面間寸法

1/4”、1/4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一)……約74mm

品番コード