L21シリーズ(高圧標準流量タイプ)

Lシリーズ高圧用

RoHS指令対応製品

L21シリーズ(高圧標準流量タイプ)

機能
高圧力
溶接仕様 メタルガスケット継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
7種特殊高圧ガス
腐食性ガス 毒性ガス
以外のガス
標準流量
~60NL/min
 

特長

  • 本器L21シリーズは、高圧タイプの半導体プロセス製造ガス用に設計された製品で、基本構造は外部メタルシール・溶接継手仕様でL20シリーズより基本性能を向上した製品です。外部リーク、パーティクル性能に優れた製品で、シリンダーキャビネットに最適です。

仕様

入口圧力 14.8MPa以下(Max.24MPa)
調整圧力 Max.0.99MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0005MPa以下
耐圧圧力 31.5MPa(入口側)、1.5MPa(調整側)
Cv値 0.09
使用温度 -10~+40°C
外部リーク 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内部容積 4.75cm(3 圧力計、継手部を除く)4.75cm(3 圧力計、継手部を除く)
質量 約1.4 kg
取付方法 背面ビスによる取り付け

外観図

[備考]
■ 単位:mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

構造図

[備考]
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。

材質

[備考]
■ タイプ:L21SS-COは、一酸化炭素(CO)ガス専用に材質が選定されています。
他のガスにはご使用されないようにお願いいたします。
タイプ L21SS L21SH L21SS-CO
接ガス部
本体 SUS316 L
調整弁棒 SUS316 L ハステロイ®C-22 SUS316 L
弁座 SUS316 L ハステロイ®C-22 SUS316 L
ダイヤフラム ハステロイ®C-22 SUS316 L
弁シート PCTFE(ダイフロン® )
緩衝スプリング SUS316 ハステロイ® SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni SUS316
非接ガス部
調整器カバー SUS316、C3604BD
圧力調整ハンドル ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

1 /4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ………………………………… 約94mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状(オス、メス)の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。

品番コード

[注記]
■ 圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。
■ 入口圧力が19.6MPaの場合、調整圧力範囲0~0.2MPaは選定できません。