L35シリーズ(中圧中流量タイプ)

Lシリーズ低圧用

RoHS指令対応製品

L35シリーズ(中圧中流量タイプ)

機能
中圧力 6MPa以下
低圧力 1MPa以下
溶接仕様 メタルガスケット継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
以外のガス
ガス専用器
標準流量
100~500NL/min
 

特長

  • 本器L35シリーズは、低圧・中圧タイプの半導体プロセス製造ガス用に設計された製品で、基本構造は外部メタルシール・溶接継手仕様で外部リーク、パーティクル性能に優れた製品です。流量レンジをアップしていますので、配管3/8サイズの装置供給でのバルブボックス、フックアップ用に最適です。

仕様

入口圧力 6MPa以下
調整圧力 Max.0.9MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.9MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0007MPa
耐圧圧力 9MPa(入口側)
Cv値 0.21
使用温度 -10~+40°C
外部リーク 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内部容積 11.3cm(3 圧力計、継手部を除く)
質量 約1.9kg
取付方法 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取り付け

外観図

[備考]
■ 単位:mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

構造図

[備考]
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。

材質

[備考]
■ タイプ:L35SS-COは、一酸化炭素(CO)ガス専用タイプ:L35SH-CL2は、塩素(Cℓ2)ガス専用、タイプ:L35 SS-N2 Oは、亜酸化窒素(N2 O)ガス専用、タイプ:L35SS-NH3は、アンモニア(NH3)ガス専用に、材質が選定されております。他のガスには、ご使用されないようにお願いいたします。
タイプ L35SS L26SH L35SH-CL2 L35SS-N2O L35SS-CO L35SS-NH3
接ガス部
本体 SUS316 L
調整弁棒 SUS316 L ハステロイ®C-22 SUS316 L
弁座 SUS316 L ハステロイ®C-22 SUS316 L
ダイヤフラム ハステロイ® C-22 SUS316 L ハステロイ®C-22
弁シート PCTFE(ダイフロン® ) 特殊フッ素
樹脂
ポリイミド
樹脂
PCTFE
(ダイフロン®)
アンモニア
専用シート
緩衝スプリング SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni SUS316 Ni
非接ガス部
調整器カバー SUS304
圧力調整ハンドル ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

1 /4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ………………………………… 約94mm

3 /8”・1 /2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ………………………………… 約132mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状(オス、メス)の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。

品番コード

[注記]
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。