L88シリーズ（2段式標準流量タイプ）
Lシリーズ二段式
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L88シリーズは、二段式減圧構造で半導体製造ガスのB2H6用に設計された製品です。B2H6を減圧することで発生する生成物を抑える対策として中間圧力を3MPa、調整弁構造を平面シール式にし、PCTFの調整弁シートを採用したことで不具合を抑えられた製品です。断熱膨張の変化が大きいNF3用にも最適です。
仕様
| 入口圧力 | 14.8MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.00075MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.08 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa･m3/s・He（真空法） |
| 内部容積 | 12.58cm（3 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 約2.4kg |
| 取付方法 | 前面・背面共パネル取付用ナットによる取り付け |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがあますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L88SS |
|---|---|
| 接ガス部 | |
| 本体 | SUS316 L |
| 調整弁棒 | SUS316 L |
| 弁座 | SUS316 |
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 |
| 弁シート | PTFE（テフロン® ） |
| 緩衝スプリング | SUS316 |
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni |
| 非接ガス部 | |
| 調整器カバー | SUS316 |
| 圧力調整ハンドル | ABS樹脂 |
| Oリング | NBR |
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（オス） … 約88mm
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（メス） …約105mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。