LM2シリーズ(低圧大流量タイプ)

Lシリーズ低圧用

RoHS指令対応製品

LM2シリーズ(低圧大流量タイプ)

機能
低圧力 1MPa以下
溶接仕様 メタルガスケット継手
ねじ込み仕様 二重圧縮リング継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
以外のガス
標準流量
700~1500NL/min
 

特長

  • 本器LM2シリーズは、接続形状が1/2サイズ以上の低圧大流量タイプで、調整弁形状がニードルシール構造のプロセスガス用に設計された製品です。

仕様

入口圧力 2MPa以下
調整圧力 Max.0.99MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.016MPa以下
耐圧圧力 3MPa(入口側)、1.5MPa(調整側)
Cv値 1.69
使用温度 -10~+40°C
外部リーク 溶接仕様(W):1×10-11 Pa・m3/s・He(真空法)
ねじ込み仕様(P):1×10-9 Pa・m3/s・He(真空法)
質量 約5.0kg(3/8、1/2フェイスシール継手溶接3P)
取付方法 裏面パネルマウント(前面パネルマウント無し)

外観図

[備考]
■ 単位:mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

 

構造図

[備考]
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ LM2SS
接ガス部
本体 SUS316 L
調整弁棒 SUS316 L
弁座 SUS316 L
ダイヤフラム ハステロイ®C‐22
弁シート PTFE(テフロン® )
緩衝スプリング SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni
パッキン材 PTFE(テフロン® )
非接ガス部
調整器カバー 真鍮(ニッケル・メッキ)
圧力調整ハンドル SUS製Tバー
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“B-Q”) 非研磨仕様(グレード“C”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下 切削面

標準面間寸法

NPT1 /2メス・本体面間寸法 ……………… 約89mm
3 /8”、1 /2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) …………………………… 約149mm
3 /4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) …………………………… 約175mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4”NPTメス・ネジまたは、1/4”フェイス・シール継手オスが標準です。

品番コード

[注記]
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。