R20シリーズ（高圧標準流量タイプ）
Rシリーズ高圧用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器R20シリーズは、高圧タイプの高純度ガス用に設計された製品です。旧製品のERSシリーズの後継機種で、基本構造はフィルター内蔵、本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。
- UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。
仕様
| 入口圧力 | 14.8MPa以下（Max.19.6MPa） |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.00086MPa |
| 耐圧圧力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv値 | 0.08 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | ネジ込み仕様（P）：1×10－9Pa・m3/s・He（真空法） 溶接仕様（W）：1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） （但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト） |
| 内部容積 | 4.67cm（3 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 約1.29kg |
| 取付方法 | 前面パネル取付用ナットまたは背面ネジによる取り付け （外観図参照） |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
タイド・ダイヤフラム構造（オプション）
■“タイド・ダイヤフラム”構造の場合、出口圧力側を加圧状態で、圧力調整ハンドルをDECREASE（SHUT）方向へ戻す操作は、行わないでください。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | R20SS | R20SH | R20SS-CO |
|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||
| 本体 | SUS316 L | ||
| 調整弁棒 | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | SUS316 L |
| ダイヤフラム | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | SUS316 L |
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | ||
| 緩衝スプリング | SUS316 | ||
| パッキン | PCTFE（ダイフロン® ）およびPTFE（テフロン® ） | ||
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 | |
| 非接ガス部 | |||
| ボンネット | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||
| キャップ | 真鍮（ニッケル・メッキ） | ||
| 圧力調整ハンドル | ABS樹脂 | ||
| Oリング | NBR | ||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
NPT1 /4メス・本体面間寸法 ………………… 約48mm
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（オス） … 約82mm
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（メス） … 約99mm
1 /4”SUSパイプ継手面間寸法 ………………… 約111mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”NPTメス・ネジまたは1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
■ 圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。
■ 入口圧力が19.6MPaの場合、調整圧力範囲0～0.2MPaは選定できません。