R36シリーズ(低圧中流量タイプ)

Rシリーズ低圧用

RoHS指令対応製品

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R36シリーズ(低圧中流量タイプ)

機能
低圧力 1MPa以下
溶接仕様 メタルガスケット継手
ねじ込み仕様 二重圧縮リング継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
腐食性ガス 毒性ガス
以外のガス
標準流量
100~500NL/min
 

特長

  • 本器R36シリーズは、低圧専用タイプの高純度ガス用でR35の基本性能を向上させる目的で設計された製品です。
    本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。
  • UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。

仕様

入口圧力 2MPa以下
調整圧力 Max.0.99MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0034MPa以下
耐圧圧力 9MPa(入口側)
Cv値 0.62
使用温度 -10~+40°C
外部リーク ネジ込み仕様(P):1×10-9Pa・m3/s・He(真空法)
溶接仕様(W):1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
(但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト)
質量 約1.7kg(3/8、1/2フェイスシール継手溶接3ポートタイプ)
取付方法 背面ビスによる取り付け(オプション:前面パネルマウント)

外観図

構造図

[備考] ■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。 ■ねじ込みポート(P)仕様はフィルターを内蔵しています。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

[備考]
■ タイプ:R36SS-COは、一酸化炭素(CO)ガス専用に材質が選定されています。
他のガスにはご使用 されないようにお願いいたします。
タイプ R36SS R36SS-CO
接ガス部
本体 SUS316 L
調整弁棒 SUS316 L
弁座 SUS316 L
ダイヤフラム SUS316 L
弁シート PCTFE(ダイフロン® )
緩衝スプリング SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni SUS316
パッキン材 PTFE(テフロン® )
非接ガス部
調整器カバー 真鍮(ニッケルメッキ)
圧力調整ハンドル ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

NPT3 /8メス・本体面間寸法 ………………… 約64mm
3 /8”、1 /2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) …………………………… 約120mm
3 /8”SUSパイプ継手面間寸法 …………………約128mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4”NPTメス・ネジまたは、1/4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび、形状(オス・メス)の組み合わせは、品番コード表に示すもののなかから選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。

品番コード

[注記]
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。