R61シリーズ(平面シール式 高圧大流量タイプ)

Rシリーズ高圧用

RoHS指令対応製品

R61シリーズ(平面シール式 高圧大流量タイプ)

機能
高圧力
溶接仕様 メタルガスケット継手
ねじ込み仕様 二重圧縮リング継手
ボンベ取り付け
調整弁構造
平面シール式 バルクガス
対応ガス
以外のガス
標準流量
100~500NL/min
 

特長

  • 本器R61シリーズは、高圧タイプの高純度ガス用に設計された製品です。
    旧製品のERSシリーズの後継機種で、基本構造はフィルター内蔵、本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。
  • UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。

仕様

入口圧力 14.8MPa以下(Max.19.6MPa)
調整圧力 Max.0.99MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.001MPa
耐圧圧力 22.2MPa(入口側)
Cv値 0.31
使用温度 -10~+40°C
外部リーク ネジ込み仕様(P):1×10-9Pa・m3/s・He(真空法)
溶接仕様(W):1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
(但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト)
内部容積 25.3cm(3 圧力計、継手部を除く)
質量 約2.0kg
取付方法 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取り付け

外観図

[備考]
■ 単位:mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

構造図

[備考]
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ R61SS
接ガス部
本体 SUS316
調整弁 SUS316
弁座 SUS316
ダイヤフラム SUS316
弁シート PCTFE(ダイフロン® )
緩衝スプリング SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni
パッキン材 PTFE(テフロン® )
非接ガス部
調整器カバー 真鍮(クロム・メッキ)
圧力調整ハンドル ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

NPT1 /4メス・本体面間寸法 ………………… 約72mm
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法(オス) … 約106mm
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法(メス) … 約123mm
3 /8”・1 /2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ……………………………… 約132mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”NPTメス・ネジまたは1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状(オス、メス)の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。

品番コード

[注記]
■ 圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。
■ 入口圧力が19.6MPaの場合、調整圧力範囲0~0.2MPaは選定できません。