L26-D/LH2-D(旧;UDM・UDL)

Dシリーズ電子制御式

RoHS指令対応製品

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L26-D/LH2-D(旧;UDM・UDL)

機能
低圧力 1MPa以下
溶接仕様 メタルガスケット継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
7種特殊高圧ガス
腐食性ガス 毒性ガス
以外のガス
標準流量
700~1500NL/min
 

特長

  • 電子制御により流量放出時の圧力の変動を自動的に制御できます。
  • 電源DC24Vと駆動用Air、フィードバック用圧力センサーをご用意ください。
  • RS485通信を利用して、遠隔操作で任意の圧力設定が可能です。

仕様

入口圧力 2MPa以下
調整圧力 0.05~0.99MPa
最大流量 最大100L/min
電源電圧 DC24V±10%
消費電力 200mA以下
外部通信 RS-485
圧力センサ入力 4~20mA(1~5Vオプション)
駆動Air供給圧範囲 0.4~0.6MPa
駆動Air取合 M5メス
外部リーク 1×10-11 Pa・m3/sec・He(真空法)
質量 L26-D=約1.6kg
LH2-D=約6kg

外観図

[備考]
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

使用用途例

流量曲線図

L26-D

LH2-D

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ L26SS、LH2SS L26SH、LH2SH
接ガス部
本体 SUS316L
調整弁 SUS316L ハステロイC-22
弁座 SUS316L ハステロイC-22
ダイヤフラム SUS316L
弁シート PCTFE
緩衝スプリング SUS316

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研摩仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.8μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

L26-D 1/4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ………………………………… 約94mm
LH2-D 3/8”・1/2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ……………………………… 約152mm

品番コード