U25シリーズ（低圧標準流量タイプ）
Uシリーズ
RoHS指令対応製品
仕様
| 入口圧力 | 6MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa（レンジ仕様：0～0.5MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0016MPa |
| 耐圧圧力 | 1次側22.2MPa |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa･m3/s・He（真空法） |
| 質量 | 約1.4kg |
| 取付方法 | 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取付 |
外観図
［備考］
■ 圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
構造図
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | U25SS | U25SH | U25SV | U25VH | U25SH-CL2 | U25SS-N2O | U25SS-NH3 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | |||||||
| 本体 | SUS316L | SUS316L 真空二重溶解材 |
SUS316L | ||||
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | ||||||
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン®） | フッ素 樹脂 |
ポリイミド 樹脂 |
アンモニア 専用シート |
|||
| 調整弁棒 | SUS316L | ハステロイ® C-22 |
SUS316L | ハステロイ® C-22 |
SUS316L | ||
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | ||||||
| 非接ガス部 | |||||||
| 調整器カバー | SUS304 | ||||||
| 調整器カバー | ABS樹脂 | ||||||
| Ｏリング | NBR | ||||||
クリーン・レベル
| 研磨仕様（グレード“S”） | |
|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.08μm Ra以下 |
標準面間寸法
本体削り出し1/4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス） …………………………………………… 約88mm
1/4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一） ……………………………… 約122mm
品番コード
※1 U20シリーズのみ選択可能
※2 圧力計付仕様はLシリーズになります。
※3 圧力計ポート付、3W、4W仕様はGを付けて接続形状を指示してください。