U31シリーズ(低圧中流量タイプ)

Uシリーズ

RoHS指令対応製品

U31シリーズ(低圧中流量タイプ)

機能
溶接仕様 メタルガスケット継手
調整弁構造
平面シール式 バルクガス
対応ガス
以外のガス
標準流量
100~500NL/min
 

仕様

[注記]
1MPa = 10.2 kgf/cm2 = 144.84 PSI = 7504.36 mmHg = 295.4 inHg
入口圧力 6MPa以下
調整圧力 Max.0.99MPa(レンジ仕様:0~0.5MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.00086MPa
耐圧圧力 1次側9MPa
使用温度 -10~+40°C
外部リーク 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
質量 約1.4kg
取付方法 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取付

外観図

[備考]
■ 圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ 本製品には、フィルターが内蔵されておりません。

構造図

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

タイプ U31SS U31SV U31VH U31VH
接ガス部
本体 SUS316L SUS316L
真空二重溶解材
SUS316L SUS316L
真空二重溶解材
ダイヤフラム ハステロイ®C-22
弁シート PCTFE(ダイフロン®)
調整弁棒 SUS316L ハステロイ®C-22
圧力計部継手シール用ガスケット Ni
非接ガス部
調整器カバー SUS304
調整器カバー ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  研磨仕様(グレード“S”)
接ガス部表面処理 0.08μm Ra以下

標準面間寸法

本体削り出し1/4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス) …………………………………………… 約88mm
1/4”フェイス・シール継手面間寸法
(オス、メス同一) ……………………………… 約122mm

品番コード

※1 U20シリーズのみ選択可能
※2 圧力計付仕様はLシリーズになります。
※3 圧力計ポート付、3W、4W仕様はGを付けて接続形状を指示してください。