R26-D／RH2-D（旧；UDM・UDL）
Dシリーズ電子制御式
RoHS指令対応製品
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特長
- 電子制御により流量放出時の圧力の変動を抑えることができます。
- 継手は本体NPTメスが標準仕様です。溶接仕様はLシリーズをご利用ください。
- 圧力コントローラーの駆動圧力で圧力制御し、調整器と離した別置きも可能です。
仕様
| 入口圧力 | 2MPa以下 |
| 調整圧力 | 0.05～0.99MPa |
| 最大流量 | 最大100L/min |
| 電源電圧 | DC24V±10% |
| 消費電力 | 200mA以下 |
| 外部通信 | RS-485 |
| 圧力センサ入力 | 4～20mA（1～5Vオプション） |
| 駆動Air供給圧範囲 | 0.4～0.6MPa |
| 駆動Air取合 | M5メス |
| 外部リーク | 1×10－11 Pa・m3/sec・He（真空法） |
| 質量 | R26-D＝約1.6kg RH2-D＝約4kg |
外観図
［備考］
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
使用タイプ例
［一体型：DYタイプ］
［一体型：Dタイプ］
流量曲線図
R26-D
RH2-D
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。
材質
| シリーズ | R26-D、RH2-D |
|---|---|
| 接ガス部 | |
| 本体 | SUS316L |
| 調整弁棒 | SUS316L |
| 弁座 | SUS316L |
| ダイヤフラム | SUS316L |
| パッキン材 | PTFE |
| 弁シート | PCTFE |
| 緩衝スプリング | SUS316 |
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | |
|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.8μm Ra以下 |
標準面間寸法
R26-D NPT1/4メス・本体面間寸法 …………… 約48mm
RH2-D NPT1/2メス・本体面間寸法 …………… 約79mm
品番コード
