L26シリーズ（中・低圧標準流量タイプ）
Lシリーズ低圧用
RoHS指令対応製品
特長
- 本器L26シリーズは、低圧・中圧タイプの半導体プロセス製造ガス用に設計された製品で、基本構造は外部メタルシール・溶接継手仕様でL25製品より基本性能を向上した移行製品です。外部リーク、パーティクル性能に優れた製品で、装置供給でのバルブボックス、フックアップ用に最適です。
仕様
| 入口圧力 | 6MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.0.99MPa （レンジ仕様：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.001MPa |
| 耐圧圧力 | 1次側22.2MPa |
| Cv値 | 0.21 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | 1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） |
| 内部容積 | 4.75cm（3 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 1kg |
| 取付方法 | 背面ビスによる取り付け |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■本製品には、フィルターが内蔵されておりません。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | L26SS | L26SH | L26SH-CL2 | L26SS-N2O | L26SS-CO | L26SS-NH3 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 接ガス部 | ||||||
| 本体 | SUS316 L | |||||
| 調整弁棒 | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | SUS316 L | |||
| 弁座 | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | SUS316 L | |||
| ダイヤフラム | ハステロイ® C-22 | SUS316 L | ハステロイ®C-22 | |||
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | 特殊フッ素 樹脂 |
ポリイミド 樹脂 |
PCTFE （ダイフロン®） |
アンモニア 専用シート |
|
| 緩衝スプリング | SUS316 | ハステロイ® | SUS316 | |||
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 | Ni | |||
| 非接ガス部 | ||||||
| 調整器カバー | SUS304 | |||||
| 圧力調整ハンドル | ABS樹脂 | |||||
| Oリング | NBR | |||||
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
1 /4”フェイス・シール継手面間寸法
（オス、メス同一） ………………………………… 約94mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。