R72シリーズ（出口高圧タイプ）
Rシリーズ高圧用
RoHS指令対応製品
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特長
- 本器R72シリーズは、高圧調整タイプの高純度ガス用で旧R71製品の基本性能向上を目的に設計された製品です。
基本構造はフィルター内蔵、本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。 - UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。
仕様
| 入口圧力 | 21MPa以下 |
| 調整圧力 | Max.15MPa （レンジ仕様：0～4MPa、0～6MPa、0～10MPa、0～15MPa） |
| 元圧変動 | 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.002MPa |
| 耐圧圧力 | 31.5MPa（入口側）、22.5MPa（出口側） |
| Cv値 | 0.023 |
| 使用温度 | －10～＋40°C |
| 外部リーク | ネジ込み仕様（P）：1×10－9Pa・m3/s・He（真空法） 溶接仕様（W）：1×10－11Pa・m3/s・He（真空法） （但し、グレード”C”はN2ガスによる24時間封入テスト） |
| 内部容積 | 3.66cm3（ 圧力計、継手部を除く） |
| 質量 | 約1.9kg |
| 取付方法 | 前面パネル取付ナットまたは背面ビスによる取付け |
外観図
［備考］
■ 単位：mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。
構造図
［備考］
■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
流量曲線図
［備考］
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。
材質
| タイプ | R72SS | R72SS-CO |
|---|---|---|
| 接ガス部 | ||
| 本体 | SUS316 L | |
| 調整弁棒 | SUS316 L | |
| 弁座 | SUS316 | |
| ダイヤフラム | ハステロイ®C-22 | SUS316 L |
| 弁シート | PCTFE（ダイフロン® ） | |
| 緩衝スプリング | SUS316 | |
| 圧力計部継手シール用ガスケット | Ni | SUS316 |
| パッキン材 | PTFE（テフロン® ） | |
| 非接ガス部 | ||
| 調整器カバー | SUS304 | |
| 圧力調整ハンドル | SUS304 | |
クリーン・レベル
| 非研磨仕様（グレード“B”） | 研磨仕様（グレード“A”） | |
|---|---|---|
| 接ガス部表面処理 | 0.80μm Ra以下 | 0.18μm Ra以下 |
標準面間寸法
NPT1 /4メス・本体面間寸法 ………………… 約48mm
1/4”フェイス・シール継手面間寸法（オス） … 約82 mm
1/4”フェイス・シール継手面間寸法（メス） … 約99 mm
1 /4”SUSパイプ継手面間寸法 ……………… 約111mm
［備考］
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1 /4”NPTメス・ネジまたは1 /4”フェイス・シール継手オスが標準です。
■ 入口・出口継手の種類・サイズおよび形状（オス、メス）の組み合わせは、品番コード表に示すものの中から選択可能です。
■ UJR®、VCR®、CVC®以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる場合があります。
品番コード
［注記］
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。