RH2シリーズ(低圧大流量タイプ)

Rシリーズ低圧用

RoHS指令対応製品

RH2シリーズ(低圧大流量タイプ)

機能
溶接仕様 メタルガスケット継手
ねじ込み仕様 二重圧縮リング継手
調整弁構造
ニードル式
対応ガス
以外のガス
標準流量
100~500NL/min
 

特長

  • 本器RH2シリーズは、低圧専用大流量タイプの高純度ガス用でRH1製品の基本性能向上を目的に設計された製品です。
    基本構造は本体接続形状をねじ込み加工しており、豊富な継手の取り付けが可能な汎用性の高い製品です。
  • UJRなどの溶接継手仕様は本体差し込み溶接で対応しております。

仕様

入口圧力 2MPa以下
調整圧力 Max.0.99MPa
(レンジ仕様:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
元圧変動 入口圧力:0.1MPa当り、調整圧力変化量0.0082MPa以下
耐圧圧力 22.2MPa(入口側)、1.5MPa(調整側)
Cv値 0.84
使用温度 -10~+40°C
外部リーク ネジ込み仕様(P):1×10-9Pa・m3/s・He(真空法)
溶接仕様(W):1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
(但し、グレード“C”はN2ガスによる24時間封入テスト)
質量 約2.8kg(3/8、1/2フェイスシール継手溶接3ポートタイプ)
取付方法 背面ビスによる取り付け(オプション:前面パネルマウント)

外観図

[備考]
■ 単位:mm
■ 各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

構造図

[備考]
■ 圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、ご注意ください。
■ ねじ込みポート(P)仕様はフィルターを内蔵しています。

流量曲線図

[備考]
■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。
また、ガス温度等により変動します。

材質

[備考]
■ タイプ:RH2 SS-COは、一酸化炭素(CO)ガス専用に材質が選定されています。他のガスにはご使用されないようにお願いいたします。
■ RH2は最大入口圧力2 Paで最大入口圧力コードは02となります。
02以外のコードは0 .1MPa連成計付、10 Kフランジ付等、2MPaまで入口を上げられない仕様の場合に使用してください。
タイプ RH2SSC RH2SS-CO
接ガス部
本体 SUS316 L
調整弁棒SUS316 L SUS316 L
弁座 SUS316 L
ダイヤフラム SUS316 L
弁シート PCTFE(ダイフロン® )
緩衝スプリング SUS316
圧力計部継手シール用ガスケット Ni SUS316
パッキン材質 PTFE(テフロン® )
非接ガス部
調整器カバー 真鍮(ニッケルメッキ)
圧力調整ハンドル ABS樹脂
Oリング NBR

クリーン・レベル

  非研磨仕様(グレード“B”) 研磨仕様(グレード“A”)
接ガス部表面処理 0.80μm Ra以下 0.18μm Ra以下

標準面間寸法

NPT1/2メス・本体面間寸法 ………………… 約79mm
3 /8”,1/2”フェイス・シール継手面間寸法
(オス・メス同一) ………………………………約140mm
1 /2”SUSパイプ継手面間寸法 …………………約152mm

[備考]
■ 圧力計接続継手のサイズおよび形状は、1/4”NPTメス・ネジまたは、1/4”フェイス・シール継手オスが標準です。

品番コード

[注記]
圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の60%以内です。