U3Dシリーズ
高純度ガス用圧力計
特長
- 高純度ガス用で集積化ガス供給システム用に設計された製品です。
装置の省スペース化でのご使用に最適です。
仕様
| 形式 | U3D-□□□ -V1MQ | U3D-□□□-V2MQ |
| 目盛板寸法 | φ50 | |
| 精度等級 | 4級相当 | |
| 製作 | 禁油・禁水 | |
| 研磨 | 接ガス部 0 .2μmRa以下 | |
| 使用温度範囲 | －5 ～ 45℃ | |
| 外部リーク | 1×10-11 Pa・m3 /s・He（真空法） | |
| 固定フランジ | 無 | |
| 外観形状番号 | 図8 | 図9 |
外観図
寸法表
| 外観形状番号 | a | b | h | φD |
|---|---|---|---|---|
| 図8 | 54 .3 | 25 .5 | 28 .8 | 33 |
| 図9 | 49 .5 | 25 .5 | 24 | 33 |
材質
| 名称 | U3D-□□□ -V1MQ | U3D-□□□ -V2MQ |
|---|---|---|
| ブルドン管 | SUS316 L | SUS316 L |
| 株 | SUS316 L | SUS316 |
| 継手 | SUS316 L | SUS316 |
品番コード
