U3Dシリーズ

高純度ガス用圧力計

RoHS指令対応製品

U3Dシリーズ

機能
溶接仕様 メタルガスケット継手
 

特長

  • 高純度ガス用で集積化ガス供給システム用に設計された製品です。
    装置の省スペース化でのご使用に最適です。

仕様

■本製品は、研磨仕様のみの製作となります。
形式 U3D-□□□ -V1MQ U3D-□□□-V2MQ
目盛板寸法 φ50
精度等級 4級相当
製作 禁油・禁水
研磨 接ガス部 0 .2μmRa以下
使用温度範囲 -5 ~ 45℃
外部リーク 1×10-11 Pa・m3 /s・He(真空法)
固定フランジ
外観形状番号 図8 図9

外観図

寸法表

単位:mm
外観形状番号 a b h φD
図8 54 .3 25 .5 28 .8 33
図9 49 .5 25 .5 24 33

材質

名称 U3D-□□□ -V1MQ U3D-□□□ -V2MQ
ブルドン管 SUS316 L SUS316 L
SUS316 L SUS316
継手 SUS316 L SUS316

品番コード